電液伺服閥技術(shù)誕生是液壓控制技術(shù)和液壓控制系統(tǒng)的發(fā)展的結(jié)果。

液壓控制技術(shù)的歷史*可追溯到公元前240年，當(dāng)時(shí)一位古埃及人發(fā)明了人類歷**個(gè)液壓伺服系統(tǒng)--水鐘。然而在隨后漫長(zhǎng)的歷史階段，液壓控制技術(shù)一直裹足不前，直到18世紀(jì)末19世紀(jì)初，才有一些重大進(jìn)展。在二戰(zhàn)前夕，隨著工業(yè)發(fā)展的需要，液壓控制技術(shù)出現(xiàn)了突飛猛進(jìn)地發(fā)展，許多早期的控制閥原理及均是這一時(shí)代的產(chǎn)物。如:Askania調(diào)節(jié)器公司及Askania-Werke發(fā)明及申請(qǐng)了射流管閥原理的。同樣Foxboro發(fā)明了噴嘴擋板閥原理的。而德國Siemens公司發(fā)明了一種具有永磁馬達(dá)及接收機(jī)械及電信號(hào)兩種輸入的雙輸入閥，并開創(chuàng)性地使用在航空領(lǐng)域。

在二戰(zhàn)末期，伺服閥是用螺線管直接驅(qū)動(dòng)閥芯運(yùn)動(dòng)的單級(jí)開環(huán)控制閥。然隨著控制理論的成熟及 事應(yīng)用的需要，伺服閥的研制和發(fā)展取得了巨大成就。 1946年，英國Tinsiey獲得了兩級(jí)閥的;Raytheon和Bell航空發(fā)明了帶反饋的兩級(jí)閥;MIT用力矩馬達(dá)替代了螺線管使馬達(dá)消耗的功率更小而線性度更好。1950年，W.C.Moog*個(gè)發(fā)明了單噴嘴兩級(jí)伺服閥。1953年至1955年間，T.H.Carson發(fā)明了機(jī)械反饋式兩級(jí)伺服閥;W.C.Moog發(fā)明了雙噴嘴兩級(jí)伺服閥;Wolpin發(fā)明了干式力矩馬達(dá)，消除了原來浸在油液內(nèi)的力矩馬達(dá)由油液污染帶來的可靠性問題。 1957年R.Atchley利用Askania射流管原理研制了兩級(jí)射流管伺服閥。并于1959年研制了三級(jí)電反饋伺服閥。

1959年2月國外某液壓與氣動(dòng)雜志對(duì)當(dāng)時(shí)的伺服閥情況作了12頁的報(bào)道，顯示了當(dāng)時(shí)伺服閥蓬勃發(fā)展的狀況。那時(shí)生產(chǎn)各種類型的伺服閥的制造商有 20多家。各生產(chǎn)廠家為了爭(zhēng)奪伺服閥生產(chǎn)的霸權(quán)地位展開了激烈地競(jìng)爭(zhēng)。回顧歷史，可以看到zui終取勝的幾個(gè)廠家，大多數(shù)生產(chǎn)具有反饋及力矩馬達(dá)的兩級(jí)伺服閥。我們可以看到1960年的伺服閥已具有現(xiàn)代伺服閥的許多特點(diǎn)。如:第二級(jí)對(duì)*級(jí)反饋形成閉環(huán)控制;采用干式力矩馬達(dá);前置級(jí)對(duì)功率級(jí)的壓力恢復(fù)通常可達(dá)到50%;*級(jí)的機(jī)械對(duì)稱結(jié)構(gòu)減小了溫度、壓力變化對(duì)零位的影響。同時(shí)，由早期的直動(dòng)型開環(huán)控制閥發(fā)展變化而來的直動(dòng)型兩級(jí)閉環(huán)控制伺服閥也已出現(xiàn)。當(dāng)時(shí)的伺服閥主要用于 領(lǐng)域，隨著太空時(shí)代的到來，伺服閥又被廣泛用于航天領(lǐng)域，并研制出高可靠性的多余度伺服閥等產(chǎn)品。

與此同時(shí)，隨著伺服閥工業(yè)運(yùn)用場(chǎng)合的不斷擴(kuò)大，某些生產(chǎn)廠家研制出了專門使用于工業(yè)場(chǎng)合的工業(yè)伺服閥。如Moog公司就在1963年推出了*款專為工業(yè)場(chǎng)合使用的73系列伺服閥產(chǎn)品。隨后，越來越多的專為工業(yè)用途研制的伺服閥出現(xiàn)了。它們具有如下的特征:較大的體積以方便制造;閥體采用鋁材(需要時(shí)亦可采用鋼材);獨(dú)立的*級(jí)以方便調(diào)整及維修;主要使用在14MPa以下的低壓場(chǎng)合;盡量形成系列化、標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品。然而Moog公司在德國的分公司卻將其伺服閥的應(yīng)用場(chǎng)合主要集中在高壓場(chǎng)合，一般工作壓力在21MPa，有的甚至到35MPa，這就使閥的設(shè)計(jì)專重于高壓下的使用可靠性。而隨著伺服閥在工業(yè)場(chǎng)合的廣泛運(yùn)用，各公司均推出了各自的適合工業(yè)場(chǎng)合用的比例閥。其特點(diǎn)為低成本，控制精度雖比不上伺服閥，但通過*控制技術(shù)和精良的電子裝置以彌補(bǔ)其不足，使其性能和功效逼近伺服閥。1973年，Moog公司按工業(yè)使用的需要，把某些伺服閥轉(zhuǎn)換成工業(yè)場(chǎng)合的比例閥標(biāo)準(zhǔn)接口。Bosch研制出了其標(biāo)志性的射流管先導(dǎo)級(jí)及電反饋的平板型伺服閥。1974年，Moog公司推出了低成本、大流量的三級(jí)電反饋伺服閥。Vickers公司研制了壓力補(bǔ)償?shù)腒G 型比例閥。Rexroth、Bosch及其他公司研制了用兩個(gè)線圈分別控制閥芯兩方向運(yùn)動(dòng)的比例閥等等。

 國內(nèi)外的現(xiàn)狀

 市場(chǎng)情況

目前，國內(nèi)生產(chǎn)伺服閥的廠家主要有:航空工業(yè)總公司第六O九研究所、航空工業(yè)總公司第六一八研究所、北京機(jī)床研究所、中國運(yùn)載火箭技術(shù)研究院第十八研究所、上海航天控制工程研究所、九江中船儀表有限責(zé)任公司(四四一廠)及中國船舶重工集團(tuán)公司第七O四研究所。國外生產(chǎn)伺服閥的廠家主要有:美國 Moog公司、英國Dowty公司、美國Team公司、俄羅斯的"祖國"設(shè)計(jì)局、沃斯霍得工廠等，此外美國Park公司、EatonVickers公司、德國Bosch公司、Rexroth公司等亦有自己的伺服閥產(chǎn)品。

電液伺服閥一般按力矩馬達(dá)型式分為動(dòng)圈式和永磁式兩種。傳統(tǒng)的伺服閥大部分采用永磁式力矩馬達(dá)，此類伺服閥還可分為噴嘴擋板式和射流式兩大類。目前國內(nèi)生產(chǎn)伺服閥的廠家大部分以噴嘴擋板式為主。生產(chǎn)射流管式伺服閥形成規(guī)模及系列的只有九江中船儀表有限責(zé)任公司(四四一廠)和中國船舶重工集團(tuán)公司第七O四研究所。國外情況亦類似，原專業(yè)生產(chǎn)射流管式伺服閥的廠家美國Abex公司也已被Park公司所吞并。然而，由于射流管式伺服閥具有抗污染性能好、高可靠性、高分辨率等特點(diǎn)。有些生產(chǎn)廠家也在研制或已推出自己的射流管式產(chǎn)品，如航空工業(yè)總公司第六O九研究所、中國運(yùn)載火箭技術(shù)研究院第十八研究所、美國Moog公司及俄羅斯的有關(guān)廠家等。美國Moog公司還在2006年7月召開了產(chǎn)品推廣會(huì)，推出了射流管式的D660系列產(chǎn)品，并認(rèn)為該產(chǎn)品代表了今后伺服閥的發(fā)展趨勢(shì)。

當(dāng)前國內(nèi)在研究、生產(chǎn)及使用伺服閥方面雖然形成了一定的規(guī)模。然而生產(chǎn)的產(chǎn)品主要用于航空、航天、艦船等 領(lǐng)域，在民品*不大。同時(shí)由于各生產(chǎn)單位各自為戰(zhàn)、缺少合作、力量分散，很不利于伺服閥的進(jìn)一步發(fā)展，也無法形成強(qiáng)大的競(jìng)爭(zhēng)力與國外產(chǎn)品進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)?，F(xiàn)國外產(chǎn)品在國內(nèi)*zui大的為Moog公司，它的產(chǎn)品占據(jù)了國內(nèi)絕大部分的民品市場(chǎng)。

M3000 的構(gòu)成運(yùn)動(dòng)控制器
伺服控制器（MSC I）

MSC I 是帶 PLC 功能并配備高分辨率模擬輸入/輸出以及位置傳感器接口的高性能伺服控制器。其專門的設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)兩臺(tái)液壓伺服作動(dòng)器快速的閉環(huán)控制。
伺服控制器（MSC II）

MSCII 是帶 PLC 功能并配備現(xiàn)場(chǎng)總線和位置傳感器接口的高性能伺服控制器。它通過現(xiàn)場(chǎng)總線接口能夠處理復(fù)雜的多軸功能，實(shí)現(xiàn)快速的閉環(huán)控制。
軸控制軟件（MACS）

MACS 是基于 CoDeSys 并符合 IEC61131-3 標(biāo)準(zhǔn)的編程語言。它提供完整的編程、調(diào)試、模擬、參數(shù)化、可視化和跟蹤功能以及穆格專家設(shè)計(jì)的各種功能模塊。
擴(kuò)展模塊
模擬和數(shù)字輸入/輸出模塊，配備 MSC I 和 MSC II 擴(kuò)展總線接口。
數(shù)字輸入/輸出模塊，配備 CANOpen 接口。
帶 CANopen 或 TCP/IP 接口的顯示器。

雙噴嘴擋板式力反饋二級(jí)電液伺服閥由電磁和液壓兩部分組成。電磁部分是永磁式力矩馬達(dá)，由*磁鐵，導(dǎo)磁體，銜鐵，控制線圈和彈簧管組成。液壓部分是結(jié)構(gòu)對(duì)稱的二級(jí)液壓放大器，前置級(jí)是雙噴嘴擋板閥，功率級(jí)是四通滑閥。畫法通過反饋桿與銜鐵擋板組件相連。
力矩馬達(dá)把輸入的電信號(hào)（電流）轉(zhuǎn)換為力矩輸出。無信號(hào)時(shí)，銜鐵有彈簧管支撐在上下導(dǎo)磁體的中間位置，*磁鐵在四個(gè)氣隙中產(chǎn)生的極化磁通是相同的力矩馬達(dá)無力矩輸出。此時(shí)，擋板處于兩個(gè)噴嘴的中間位置，噴嘴兩側(cè)的壓力相等，滑閥處于中間位置，閥無液壓輸出；若有信號(hào)時(shí)控制線圈產(chǎn)生磁通，其大小和方向由信號(hào)電流決定，磁鐵兩極所受的力不一樣，于是，在磁鐵上產(chǎn)生磁轉(zhuǎn)矩（如逆時(shí)針），使銜鐵繞彈簧管中心逆時(shí)針方向偏轉(zhuǎn)，使擋板向右偏移，噴嘴擋板的右側(cè)間隙減小而左側(cè)間隙增大，則右側(cè)壓力大于左側(cè)壓力，從而推動(dòng)滑閥左移。同時(shí)，使反饋桿產(chǎn)生彈性形變，對(duì)銜鐵擋板組件產(chǎn)生一個(gè)順時(shí)針方向的反轉(zhuǎn)矩。當(dāng)作用在銜鐵擋板組件上的電磁轉(zhuǎn)矩、彈簧管反轉(zhuǎn)矩反饋桿反轉(zhuǎn)矩等諸力矩達(dá)到平衡時(shí)，滑閥停止移動(dòng)，取得一個(gè)平衡位置，并有相應(yīng)的流量輸出。

MOOG進(jìn)口原裝電液伺服閥的常見故障
1力矩馬達(dá)部分
a.線圈斷線：引起閥不動(dòng)，無電流。
b.銜鐵卡住或受到限位：原因是工作氣隙內(nèi)有雜物，引起閥門不動(dòng)作。
c.球頭磨損或脫落：原因是磨損，引起伺服閥性能下降，不穩(wěn)定，頻繁調(diào)整。
d.緊固件松動(dòng)：原因是振動(dòng)，固定螺絲松動(dòng)等，引起零偏增大。
e.彈簧管疲勞：原因是疲勞，引起系統(tǒng)迅速失效，伺服閥逐漸產(chǎn)生振動(dòng)，系統(tǒng)震蕩，嚴(yán)重的管路也振動(dòng)。
f.反饋桿彎曲：疲勞或人為損壞，引起閥不能正常工作，零偏大，控制電流可能到zui大。
2）噴嘴擋板部分
a.噴嘴或節(jié)流孔局部或全部堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨降率低，嚴(yán)重的引起系統(tǒng)不穩(wěn)定。
b.濾芯堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨率降低嚴(yán)重的引起系統(tǒng)擺動(dòng)。
3)滑閥放大器部分
a.刃邊磨損：原因是磨損，引起泄露，流體噪聲大，零偏大，系統(tǒng)不穩(wěn)定。
b.徑向?yàn)V芯磨損：原因是磨損。引起泄露增大，零偏增大，增益下降。
c.滑閥卡滯：原因是油液污染，滑閥變形。引起波形失真，卡死。
4）其他部分
密封件老化：壽命已到或油液不符。引起閥內(nèi)外滲油，可導(dǎo)致伺服閥堵塞。
5、運(yùn)行中抗燃油的維護(hù)
系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：汽輪機(jī)調(diào)速系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)對(duì)抗燃油的使用壽命有直接的影響，因此，系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)考慮以下因素：
1系統(tǒng)應(yīng)安全可靠?？谷加蛻?yīng)采用獨(dú)立的管路系統(tǒng)，以免礦物油、水分、等泄露至燃油中造成污染。系統(tǒng)管路中盡量減少死角，以利于沖洗系統(tǒng)。
2油箱容量大小適宜，油箱用于儲(chǔ)存系統(tǒng)的全部用油，同時(shí)還起著分離空氣和機(jī)械雜質(zhì)的作用。如果油箱容量設(shè)計(jì)過小，抗燃油在油箱中停留時(shí)間短，起不到分離作用，會(huì)加速油質(zhì)劣化，縮短抗燃油的使用壽命。
結(jié)束語：
建議今后應(yīng)定期對(duì)伺服閥進(jìn)行更換并送到機(jī)構(gòu)進(jìn)行必要的檢測(cè)和校驗(yàn)，以防止因伺服閥故障而導(dǎo)致閥門擺動(dòng)及負(fù)荷波形等不安全因素的發(fā)生；其次應(yīng)對(duì)液壓油進(jìn)行定期檢測(cè)，定期濾油，以保證機(jī)組安全穩(wěn)定運(yùn)行